技术简介： 本发明公开了一种移动补偿式角反射镜激光干涉仪及使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台，微动角反射镜与测量角反射镜包…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种多光束级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯平面角反射镜组、移动角反射镜、光电探测器组，其中激光源包括n个平行激光束，n≥2，光电探测器组包括n个光电探测…… 查看详细 >
技术简介： 本发明涉及激光干涉测量技术领域，具体涉及一种多光束阶梯型平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、分光镜、阶梯型平面反射镜、移动反射镜、光电探测器组以及微动平台，阶梯型平面反射镜的反射面为…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰微动阶梯平面反射镜激光干涉仪，所述对比式抗干扰微动阶梯平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动阶梯平面反射镜、干涉…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种移动补偿式级联阶梯型角反射镜激光干涉仪及测量方法，其中干涉仪包括激光源、分光镜、光电探测器组、阶梯型直角反射镜组、移动直角反射镜与微动平台，其中激光源包括n个平行激…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰级联阶梯角反射镜激光干涉仪，对比式抗干扰级联阶梯角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、阶梯角反射镜组、干涉测量光电探测…… 查看详细 >
一种对比式抗干扰阶梯型角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法
技术简介： 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰阶梯型角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，对比式抗干扰阶梯型角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、阶梯型角反射镜、干涉…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型公开了一种改进型角反射镜激光干涉仪，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台，微动角反射镜与测量角反射镜包括一个向内…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型公开了一种对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法，所述对比式抗干扰角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、固定角反射镜、干涉测量光电探测器、移动角反射镜和分光镜组，…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪，所述对比式抗干扰微动平面反射镜激光干涉仪，包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种对比式抗干扰阶梯型角反射镜激光干涉仪，对比式抗干扰阶梯型角反射镜激光干涉仪，包括有激光源、阶梯型角反射镜、干涉测量光电探测器组…… 查看详细 >