技术简介： 发明提供一种悬空氮化物光波导器件及其制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，所述硅衬底氮化物晶片包括顶层氮化物器件层和位于顶层氮化物器件层下部的硅衬底层；该方法能够实现高折射率硅衬底…… 查看详细 >
技术简介： 发明提供一种微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法，其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片，该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件…… 查看详细 >
技术简介： 本发明是一种环形腔结构太赫兹波光子晶体滤波器该光子晶体滤波器包括正方晶格光子晶体(1)、输入波导(2)、环形腔(3)、输出波导(4)；其中，正方晶格光子晶体(1)是沿X?Z平面呈正方形周期性分布的硅…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开一种高Q值微型圆形谐振腔器件，采用SOI晶片作为载体，所述SOI晶体从上到下依次为顶层硅器件层、氧化埋层和硅衬底层；所述顶层硅器件层刻蚀有一个C型谐振腔、2个光波导、2列入射光栅和…… 查看详细 >
技术简介： 本发明是一种光子晶体环形腔太赫兹波滤波器其滤波器特征在于该光子晶体环形腔太赫兹滤波器包括二维正方晶格结构光子晶体1、输入波导2、散射介质柱3、环形腔4、单个正方形介质块5、输出波导6；其…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种焦距可控的一维光子晶体平凹镜的设计方法，所述一维光子晶体平凹镜由两种材料A和B交替排列的一维光子晶体构成，以光子晶体的结构参数为单元、厚度固定而内径由下而上递增的圆环…… 查看详细 >
技术简介： 本发明提供微机电可调氮化物光波导器件的制备方法，其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片，该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件结构…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅制备方法，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上，采用薄膜沉积、电子束曝光、光…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型专利公开了一种基于石墨烯混合等离激元波导的偏振分束器，包括SiO2衬底以及位于衬底之上的两个平行放置的Graphene‑SiO2‑Si混合等离激元波导；其中位于左侧的输入波导为单边凸型混合…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅，实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成并提出了制备微机电可调氮化物谐振光栅的方法；该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶…… 查看详细 >
技术简介： 本发明提供一种硅衬底悬空LED光波导集成光子器件及其制备方法，该器件利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层和外延缓冲层，得到悬空氮化物薄膜LED光波导集成光子器件，进一步采用…… 查看详细 >
技术简介： 本发明提供一种利用分子链取向形成平面光波导及光耦合器的方法，利用旋涂或打印技术将有机、聚合物薄膜沉积在设计好、预处理过的聚酰亚胺薄膜图形上，对系统加热至聚合物融化温度，再降温通过其…… 查看详细 >