技术简介： 本发明公开了一种摆线针轮减速器针齿转速测量方法，包括以下步骤：1)摆线针轮减速器中的针齿外圆上均匀开设凹槽，然后在各凹槽内填充颜色，以填充有颜色的凹槽作为摆线针轮减速器中针齿外圆的刻…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种基于振动信号同步压缩变换的旋转机械瞬时转速估测方法，包括以下步骤1)获取旋转机械运行过程中的振动信号；2)对测得的振动信号进行频移处理；3)对频移后的振动信号进行同步压缩…… 查看详细 >
技术简介： 本发明利用物体绕定轴旋转时产生离心力以及梁受力弯曲和应变测力的相关原理与方法，设计了一种含双传感单元可消除偏心安装误差的螺杆泵井角速度测量装置，包括一马蹄形开口式金属壳，安装在马蹄…… 查看详细 >
技术简介： 复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬…… 查看详细 >
技术简介： 一种基于非晶态碳膜的加速度传感器芯片，包括硅质敏感结构，硅质敏感结构的背面与硼玻璃键合，硅质敏感结构包括质量块以及与质量块相连的悬臂梁，在硅质敏感结构上采用物理气相沉积或化学气相沉…… 查看详细 >
技术简介： 本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁…… 查看详细 >
技术简介： 孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种高g值加速度计，该加速度计由加速度敏感梁、两块电路板和SOI硅微固态压阻芯片构成；该加速度敏感梁上有对称的台阶，两块电路板对称粘接在台阶上，SOI硅微固态压阻芯片设置在加…… 查看详细 >
技术简介： 高过载三自由度加速度计，该加速度计包括四方体的基座，基座的X、Y、Z三个方向的表面上分别设置X轴、Y轴和Z轴加速度梁，X轴、Y轴和Z轴加速度梁上分别覆盖有盖板，加速度梁包括质量块，质量块通…… 查看详细 >
技术简介： 一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的…… 查看详细 >
技术简介： 一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法，包括硅基底、四个弹性固支梁和中间的振子，沿硅基底长度方向的两根导线分别布置在振子两侧的固支梁上。芯片底部外加磁铁用…… 查看详细 >