技术简介： 摘要：毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：光刻机工件台的一体式平衡质量装置，属于半导体制造装备技术领域，本发明为解决现有光刻机平衡技术采用两个平衡质量块存在同步设计难度大的问题。本发明包括基础框架、平衡质量块、垂向气…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：复合型双通道连续可调光延时器，涉及一种连续可调光延时器。解决了现有的光延时器无法兼顾延时量与可调的连续性的问题，可以对双通道信号实现长至十微秒级的可调延时。双通道信号中的慢行…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：本发明涉及一种多层膜结构电致变色显示器。使用电致变色技术和光子晶体技术，将两种电致变色材料交替成膜，形成一维光子晶体，利用离子注入电致变色层后，不同的电致变色材料折射率会发生…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：一种面向回转运动的簧片式直线微驱动机构，它涉及一种直线微驱动机构。本发明为了解决惯性约束激光核聚变装置光电控制系统中，电动反射镜模块和频率转换模块中晶体最佳匹配角不易调整的问…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：一种基于正交轴系的高精度大口径电动反射镜架，它涉及一种电动反射镜架。本发明为了解决在对大口径激光束的传输方向进行引导的过程不够精准且难于控制，完成对激光光束的准直引导和光束近…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜属于光束控制装置；包括反射镜、基于双轴柔性铰链的二维偏转机构、驱动机构、控制系统，反射镜固配在基于双轴柔性铰链的二维偏转机构的刚性…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：大口径凸面透镜正面四点夹持装置，它涉及一种光学元件夹持装置。本发明解决了现有的大口径凸面透镜安装、调试效率低及工作性能难以保证的问题。大口径凸面透镜放置在支撑框上，支撑框的四…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：拼接光栅的高精密位姿调整装置，它涉及一种光栅组高精密位姿调整装置。以解决高精度光栅姿态调整装置无法实现多自由度光栅精密调整问题。俯仰调整单元由俯仰调整微驱动器驱动，带动俯仰调…… 查看详细 >
一种基于受激布里渊散射的宽通带可重构微波光子滤波装置及滤波方法
技术简介： 摘要：一种基于受激布里渊散射的宽通带可重构微波光子滤波装置及滤波方法，本发明涉及基于光纤中受激布里渊散射的微波光子滤波器，属于光学和微波交叉领域。解决了现有的微波光子滤波器存在的通…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：本发明提供了一种卫星激光通信终端单模光纤耦合结构，属于单模光纤耦合结构技术领域。本发明由七根单模光纤和胶体保护套组成，其中一根单模光纤设置在中间位置，在中间位置的单模光纤的外…… 查看详细 >
技术简介： 摘要：一种均匀会聚菲涅尔透镜的设计方法，它涉及一种透镜的设计方法，具体涉及一种均匀会聚菲涅尔透镜的设计方法。本发明为解决传统菲涅尔透镜的设计方法均基于同轴设计，所有光线向透镜中心轴…… 查看详细 >