技术简介： 一种MEMS谐振式全量程倾角传感器，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上设有单晶硅结构层，单晶硅结构层的中心设有悬浮的多边形质量块，质量块通过至少三对微…… 查看详细 >
技术简介： 一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过UV胶黏剂封装的上基板和下基板，上基板的下表面有环形的沟槽通道，沟槽通道的侧壁设有疏水层；下基板的上表面包括两条平行的环形电阻，环形电阻末端…… 查看详细 >
技术简介： 一种数字式差动型微加速度计芯片，包括具有质量块‑弹簧功能的硅基底和两根石英双端固定音叉，硅基底由质量块和支撑质量块的两根悬臂梁组成，质量块、悬臂梁组成质量块‑弹簧系统指的是沿着微加…… 查看详细 >
技术简介： 一种阵列电极式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过真空键合工艺进行封装的下基板、中间基板和上基板，下基板中心有环形的第一疏水层，第一疏水层外环有环形金属电极；下基板上部的中间基板包括内圆盘…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开一种双扇形旋转激光自动经纬仪装置，包括双扇形旋转激光发射头、非接触供电装置、基准激光发射装置和传动轴系；双扇形旋转激光发射头的点激光器、立方体分光镜固定于旋转座上，由点激…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种基于差分进化算法的相位解包裹方法，其核心是利用有限项正交多项式(Zernike)多项式全局逼近真实相位，并利用差分进化算法求解待定系数。为了排除被大噪声污染的数据点影响最终…… 查看详细 >
技术简介： 一种基于实时计算全息的大口径非球面测量系统及方法，把计算全息动态补偿和子孔径拼接技术结合起来，通过空间光调制器实现实时计算全息零位测量，获取高精度的单次零位测量数据；采用双目立体视…… 查看详细 >
技术简介： 一种用于结构健康监测的透明薄膜传感器，由氯化锂与丙烯酰胺为主要成分的离子凝胶电极利用自身的粘结性粘贴于硅橡胶薄膜上下表面，组成电容传感片，电容传感片通过RTV硅橡胶粘贴于被测结构表面…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种用于大变形和触觉压力测量的介电柔性传感器，在大变形位移测量和分布式压力测量方面具有无法比拟的优势，它是由上下双层可导电的柔性电极材料，中间层绝缘的硅橡胶弹性体材料构…… 查看详细 >
技术简介： 一种动态间隙测量仪及其测量方法，动态间隙测量仪包括间隙探针(4)、激励组件和位移测量组件，所述激励组件包括振动器(6)、振动器固定杆(7)和振动控制环(5)，所述振动器(6)设在所述振动器固定杆(…… 查看详细 >
技术简介： 一种微小间隙下超导块材磁斥力精确测试仪及其测试方法。测试仪主要由双驱动机构、永磁体夹头、超导体夹头、液氮杯、光栅位移传感器和S型拉压力传感器构成。本发明采用双驱动方式、闭环控制系统…… 查看详细 >
技术简介： 本发明提供一种多向位移测量测头，能够对机床误差实施高精度、高效率的测量，具有极好的实用性。其包括壳体，柔性铰链片体，以壳体轴线为中心均布在安装面上的n个电容式传感器，以及固定在柔性…… 查看详细 >