[00000862]一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置
技术详细介绍
本实用新型公开一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置，属于材料制备技术领域；本实用新所述装置包括惰性气体收集器、氧气收集器、砂芯滤球、管式炉、收集器Ⅰ、收集器Ⅱ、精馏管、加热浴锅，惰性气体收集器、氧气收集器均和砂芯滤球的一端连通，砂芯滤球位于管式炉内，砂芯滤球的另一端和收集器Ⅰ连通；收集器Ⅰ位于加热浴锅内，收集器Ⅰ和精馏管连通，精馏管的底部和收集器Ⅱ连通；本实用新型所述装置反应效率高，ReOCl4和ReO3Cl通过精馏的方法很进行分离，提高了产物ReOCl4的纯度。
