[00001591]一种资源化回收利用硅芯腐蚀废液的装置
技术详细介绍
本实用新型涉及一种资源化回收利用硅芯腐蚀废液的装置，属于多晶硅产业硅芯腐蚀废液的处理领域。本实用新型所述装置包括废液收集槽、静态混合反应器、沉淀槽、压滤机、精馏塔、混合盐溶液配制槽、浓酸溶液储存槽；废液收集槽和混合盐溶液配制槽均通过泵与静态混合反应器连通，静态混合反应器与沉淀槽连通，沉淀槽上部与浓酸溶液储存槽连通，浓酸溶液储存槽通过泵和精馏塔连通；沉淀槽底部出口通过泵和压滤机连通，压滤机和浓酸溶液储存槽连通；精馏塔塔釜和混合盐溶液配制槽连通；各个相连通的部件之间均设有阀门。本实用新型所述装置便于过滤，流程短，效率高，能耗低。
