[00010262]基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器
技术详细介绍
基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器
本实用新型涉及一种基于自混合的高灵敏度膜片式光声光谱传感器，包括传感光源、激发光源、第一耦合器、光声腔体及信号处理电路单元，传感光源、激发光源出射激光经第一耦合器由光纤导入光声腔体内；光声腔体包括陶瓷套管及高灵敏度膜片；激发光源出射激光激发气体分子产生光声信号，并引起高灵敏度膜片振动；传感光源作为检测光信号入射到高灵敏度膜片表面，被反射回光纤端面，经光纤输出至传感光源的腔内产生自混合光声光谱信号；自混合光声光谱信号经信号处理电路单元处理，获得高灵敏度膜片振动频率和幅度，进而获得气体的浓度、压力信息。本实用新型采用自混合干涉传感技术，光路结构更加简单可靠，可实现远距离，分布式气体检测。
