[00010339]多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法
技术详细介绍
多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法
本发明公开了一种多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法，包括有多参量红外监测探头、红外图像处理与视觉测量模块、工艺优化控制模块，通过多参量红外监测探头获取炉内硅棒红外图像，经数据采集模块采集、转换为数字图像后再由图像处理模块进行分析、处理，通过视觉测量技术得到硅棒直径和生长率，采用比色测温方法测量硅棒表面的温度分布，所得数据经用户接口接入显示器通过分析获取的测量数据，建立优化控制模型，结合不同多晶硅还原炉型进行闭环优化控制。
