[00010347]高精度编码器和角度传感器的制备方法
技术详细介绍
高精度编码器和角度传感器的制备方法
本发明公开了一种高精度编码器和角度传感器的制备方法，在基片上镀上磁性介质薄膜材料，再对其进行半导体微加工处理形成由于测量的周期性或非周期性的磁性图案，再利用磁性传感器对磁性条纹和图案进行探测，然后配上外围电路后得到，可用来进行高精度的角度和位置测量。采用本发明方法制备的高精度编码器和角度传感器的分辨率和灵敏度高，成本低且制备工艺简单，抗干扰性强，且可以制作体积更小的磁性编码器和角度传感器等。
