[00010390]隧道结非接触式位移测量方法及位移传感器
技术详细介绍
隧道结非接触式位移测量方法及位移传感器
本发明公开了一种隧道结非接触式位移测量方法及位移传感器，在基片上安装有隧道结阵列，所述的隧道结阵列外接有可以探测出每个隧道结电阻大小变化的外围电路，每个隧道结对应一个确定的位置信息；隧道结阵列上方设置一个可移动的激光光源，当激光光源发出的激光束照射到某一个隧道结上时，该隧道结的外围电路感知其电阻变化，从而得到该隧道结的位置信息，从而得出与激光光源位置相对应的待测对象的位移或长度。可以以较低的成本实现极高精度和稳定性的位移探测，由于其原理采用数字式，所以整个传感器系统具有极高的抗干扰性，并且由于没有采用通常磁珊型位移传感器所采用的磁珊尺，即使在强磁场下也不会损坏，并且在一定大小的磁场下也可以工作，拓宽了其应用领域。
