[00100866]一种制备TaC的方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种制备TaC的方法。该制备方法是在HFCVD中利用钽丝作为钽源和加热源,在石墨衬底上一步法直接制备得到TaC,对于拓宽TaC在工业领域的应用有重要价值。
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