[00101367]一种二维解耦力触觉传感器及MEMS制备方法
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技术详细介绍
一种二维解耦力触觉传感器,包括玻璃基底和设于玻璃基底上的敏感块；以敏感块的中心为原点、长宽作为XY轴,敏感块的X轴正向方和Y轴正方向均设有位移电极组件,敏感块的X轴负方向和Y轴负方向均设有支撑组件；位移电极组件包括位移基板、弹性梁和支撑侧台,位移基板设有上电极；玻璃基底内与位移电极组件相应的位置均设有底部电极,上电极与相应的底部电极形成平行板电容器；敏感块受力可使位移基板产生位移,从而改变平行板电容器的电容值。本发明的传感器体积小,对于二维力的检测的灵敏度高。通过受力时的因位移基板的位移造成平行板电容器组电容值的改变值的不同,测量和确定所受力的大小和方向。
