[00101382]一种铁电聚合物高精度微纳米结构的制备方法
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技术详细介绍
本发明涉及有机材料的微纳功能化制备领域,针对铁电高分子纳米结构图案化后分辨率低的问题,提供一种铁电聚合物高精度微纳米结构的制备方法,包括以下步骤：a)将铁电高分子溶于有机溶剂中,配置成铁电高分子溶液；b)将铁电高分子溶液在硅片衬底均匀旋涂；c)旋涂后的样品结晶得旋涂铁电高分子薄膜；d)在旋涂铁电高分子薄膜的衬底上进行电子束曝光,显影后形成纳米结构。电子束曝光的精度可以达到纳米量级,电子束辐照引起铁电高分子的聚集态结构的改变,可以被显影,显影后被辐照的区域不被溶解,纳米区域得到保留,形成高分辨率的人工设计图案化效果。
