[00104508]高速小型复合分子泵
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技术详细介绍
项目概述：
本产品具有抽气性能强、体积小、总量轻、振动小、噪音低等特点，技术指标国际先进。可应用于检漏仪、质谱仪、气相色谱、四极杆飞行时间质谱、等离子体质谱、电子束显微镜、半导体制造过程中的真空进样，以及转移室、扫描电子显微镜、高能物理研究过程中的实验装置等。
应用范围：
主要应用于各类质谱仪、检漏仪等科学仪器以及半导体加工、光学镀膜等行业；未来几年需求量将大幅增长，市场前景好。
所属阶段：
可量产（9级）。
所属领域：
先进制造与自动化。
部分实物图 原理图
