[00106041]光学自由曲面超精密制造、检测与评价
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技术详细介绍
本项目围绕高端装备信息感知领域中的关键元件 光学自由曲面从设计、制造、检测评价的全链条技术研发进行深入探索,其主要创新成果及关键技术如下:
(1)掌握兼顾光学性能和材料性能的光学自由曲面设计与制造技术。兼顾先进光学系统综合使用性能与材料损伤特性,获得具有接近基础面性质的自由曲面数理描述方法,掌握系列光学元件/系统关键元件设计、制造检测,基于快/慢刀同服组合切削的光学材料加工方法,成功实现了光学晶体自由曲面的高性能低损伤加工;(2)揭示了超精密机床系统误差对制造误差的内在规律,提出典型件主动预补偿策略提升制造精度:开发小型化共焦测头与白光干涉测头,构建多参数测量系统,获得光学自由曲面高精度三维信息,指导制造误差补偿,实现加工面形精度达到亚微米、表面粗糙度达到纳米级的光学自由曲面超精密制造;开发了光学自由曲面面形误差与应用性能评价技术,满足先进光学系统应用端需求。
