[00106058]基于纳米团簇冲击技术的微纳加工系统
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技术详细介绍
本项目基本于工业实际需要,提出独创的气体纳米团簇冲击技术,改变目前传统的抛光方式,实现现代电子技术所需的注入和平滑过程。气体纳米团簇是一种约几纳米的固态气体纳米颗粒。电离后,这些粒子可,以像离子束系统中的普通离子一样被加速。由于它的大尺寸(几千个原子),它具有与离子束截然不同的独特性质。由于团中每个原子的能量很小,所以团簇束的这些性质可以用于浅注入。另一方面,由于尺寸较大,此类颗粒无法渗透到材料中,因此其所有能量都会释放到表面上。
这种效应会导致亚纳米级的良好平滑。本项目开发的环境友好的纳米团簇源冲击技术,可用于芯片制造中的离子注入和光学元件的离子抛光及表面微纳结构制造,具有重要的科学研究价值和应用价值。
