[00106325]面向高寒地区高速铁路地震预警的集成光学加速度传器产业化研究
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技术详细介绍
设计了一种基于MRR结构Fano机理的硅基MOEMS地震加速度传感器来实现高速铁路地震预警的实验研究，相对于传统传感方式，该结构具有更高的灵敏度。并用基于绝缘体上硅S0材料的纳米线波导实现，制造工艺与微电子工艺兼容，器件体积小、功耗低、便于集成。它的研究不仅是高铁地震安全和地震预警的需要，也是推动地震预警发展的需要，并可同时应用于高铁以外的工程领域如大坝、核电站等，更好地为防震减灾行业服务
