[00106398]微纳精密三维工业计量系统研发与产业化
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技术详细介绍
本项目基于云纹栅线投影技术，创新性提出集群阵列式DLP光投影与成像装置，基于16台高分辨率工业相机组成4*4阵列相机装置，2台DLP光投影仪共同组成高密度三维空间成像测试系统，自主研发系统控制器实现了系统的协调与控制，本项目致力于大视场、高精度、非接触工业计量系统研发与产业化。实现了超过600mm*600mm视场下，优于3微米的高精度三维几何形貌与变形度量，解决了光学非接触测量过程中测试精度与测量视场不可兼顾的难题。目前已经应用于大尺寸晶圆、航天卫星帆板、晶圆等加工、制造及测试过程中。
