[00106438]面向集成电路装备领域的减振器技术及其产业化
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技术详细介绍
本项目依托于“复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室”和“上海市超精密运动控制与检测工程研究中心"两大科研平台,进行精密磁浮主动减振器技术研发,开发出了一整套具有自主知识产权的精密主动磁浮减振器产品。掌握了减振技术中大推力效率电机设计、最优性能减振器智能优化布局设计.宽频带高性能主动减振控制等多个核心技术,形成了一些列自主知识产权,可以有效补偿解决集成电路装备系统内部运动台反作用力和抑制外部地基扰动影响。本项目团队具有多元化的特点,既有在集成电路装备领域、精密减振器技术领域、电机设计领域等耕耘多年的教授,又有具有半富创新力和创造力的博士后和研究生,还包括拥有丰富产业化经验和市场化资源的企业高管。本项目通过技术入股折算股份,并吸引通融资公司共同成立公司的方式进行成果转化,南业思路清晰,定位准确。
