[00106491]基于冰刻的一站式微纳加工系统
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技术详细介绍
本项目瞄准纳米精度制造和纳米尺度制造的重大战略需求,依托冰刻技术,探索基于电子与物质相互作用的纳米制造新原理与新方法,同时研制出一种面向微纳光电子器件的一站式冰刻加工系统。
项目解决的主要技术问题:特殊材料的加工
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本项目瞄准纳米精度制造和纳米尺度制造的重大战略需求,依托冰刻技术,探索基于电子与物质相互作用的纳米制造新原理与新方法,同时研制出一种面向微纳光电子器件的一站式冰刻加工系统。
项目解决的主要技术问题:特殊材料的加工
