[00106549]石墨烯/硅光电探测器研究
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技术详细介绍
本项目研究硅基石盟烯光电探测器与CMOS (互补金属氧化物半导体)三维集成工艺,与此同时,也将研究高密度低延迟互连技术,将石墨烯与硅相结合利用两者的优点,希望最终能够推广石墨烯等新型二维材料的实际发展以及应用。目前实现石墨烯/硅探测器已经制备样品,然而,后期的性能提高需要花费-定的资金。主要体现在性能提升、加工工艺、系统集成和测试等方面。
解决的主要技术问题:拓宽现有硅基光电探测器的波长范围
