[00106645]基于铌酸锂薄膜/磷化钢芯片的可调谐半导体激光器
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技术详细介绍
申请人和课题组所在的实验室,中山大学光电材料与技术国家重点实验室拥有"微纳加工与分析平台”、"光电半导体材料制备与器件加工平台"、"材料分析与测试平台”等一系列科研平台,可以完成从材料表征、混合集成、微纳加工、测试封装等一系列自主化光芯片制备工艺流程,申请人所在课题组围绕下一代光电集成系统中的关键光电材料LNOI,以开发自主可按的光电子芯片技术为目标,掌握了银酸锂薄膜光电子芯片设计、制备以及测试的整套自研发方法
