[00107309]集成化高性能射频MEMS谐振器件

　　一、 项目简介

　　射频MEMS谐振器件是基于半导体微纳 加工技术制备的高性能、集成化硅基时钟器 件，具有低功耗、低成本、可与IC集成等优 势。

　　为实现高性能MEMS谐振器、振荡器等 射频谐振器件的产业化，打破国外公司的技 术垄断，项目组国内首次设计实现具有频率 覆盖广、高Q特性的MEMS谐振器、振荡器 等器件；开发了高成品率CMOS兼容制造技 术，可直接转移代工厂。MEMS谐振器、振 荡器是石英晶振的升级换代产品，市场前景 广阔。

　　二、 技术特点

　　拥有高频率、高Q值MEMS谐振器件的 设计、加工、封装、测试等整套技术，主要 的关键技术包括：

　　1。 基于多种MEMS谐振结构和模态的新 型谐振器，实现了谐振频率大范围可调输出， 谐振信号覆盖kHz、MHz、GHz范围，大气下 Q值达到10000以上，真空下可达到130000。

　　2。 高成品率的硅基谐振器件微纳加工技 术和高可靠性的圆片级封测技术，器件制作 成品率大于90%；

　　3。 利用高增益、低噪声的驱动电路和温 度补偿电路构成高稳定性振荡器，短期稳定 性达到±0。5ppm，远载波相位噪声-128dBc/Hz， 满足GSM通信要求。

　　4。 实现了多种硅基射频器件的单片集成， 满足多频、多性能射频前端模块的需求。

　　图1 MEMS谐振器和板级振荡器

　　三、 专利情况

　　在射频MEMS器件的结构设计、制作工 艺、电路系统等方面拥有完全的自主知识产 权，共有授权专利9项。

　　四、 应用领域及市场前景

　　MEMS谐振器和振荡器在电子系统中提 供时钟基准，是对石英产品的升级换代，正 以120%的年增长率，逐渐取代石英晶体振荡 器，几乎所有的电子产品系统都需要多个时 钟器件。MEMS振荡器产品已经广泛应用于 消费电子领域，如智能手机、电子手环、视 频监控、摄录机、机顶盒、音响设备等；通 信领域，如以太网转换器、路由器、基站等。 MEMS振荡器已经被应用于iPhone手机中作 为时钟芯片。全球数以亿计的智能设备，给 MEMS振荡器创造了巨大的市场机会。

　　五、 合作方式

　　技术开发、技术转让等。