[00107537]一种SWNT基双悬臂梁红外探测器及其制作方法
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技术详细介绍
一种基于单壁碳纳米管的双悬臂红外探测器及其制造方法。 所述检测器包括 : 基板，其具有从所述顶面延伸穿过所述基板至所述底面的检测窗口； 两个异质悬臂，其中每个悬臂位于衬底上，并且具有连接到衬底的固定端和悬挂在检测窗口上方的自由端； 单壁碳纳米管膜，其桥接在所述两个非均质复合悬臂的两个自由端之间，其中所述非均质悬臂包括位于其上的第一材料层和第二材料层，并且所述第一材料层和所述第二材料层具有不同的热膨胀系数。
