[00107563]飞秒激光双光子聚合微纳加工系统和方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统和方法。 所述系统包括 : 飞秒激光器、外部光路调制单元、图像捕获装置、聚焦透镜、位移平台、计算机和监控装置，所述图像捕获装置配置成逐层捕获三维微纳器件的截面图，使得调制后的飞秒激光器形成按截面图的所有层排列的平行光束。
