[00107624]透射电子显微镜样品制备方法
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技术详细介绍
本发明提供了一种透射电子显微镜样品制备方法，包含样品预处理、样品研磨抛光、研磨减薄、样品脱模和样品清洗，主要采用研磨机的机械方式对样品进行减薄、抛光，再通过0.5kV或者更低电压的离子束简单清洗，即可制备获得用于透射电子显微镜分析的样品。该方法在使用研磨机对样品进行研磨减薄的过程中，在样品座上设置一个具有较小角度斜角的楔形模板，并将样品置于楔形模板的倾斜面上，使样品研磨减薄时也形成一个具有较小角度的斜角，其厚度沿研磨盘的径向方向逐渐减薄。则在制备过程中，只要控制样品厚度较厚一端的厚度，样品厚度较薄部分的厚度就处于可供透射电子显微镜分析的厚度范围内，操作简单，降低样品制备的难度，提高样品制备的效率。
