[00107991]45-28nm配线用Ta材料规模化生产技术与品质提升
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技术详细介绍
该项目完成了超高纯大尺寸钽锭的研发与制造，化学纯度、金属的杂质含量、钽靶晶粒尺寸和气体元素等达到了45-28nm工艺靶材对高纯钽的技术要求。项目实施期间，建成一条年产能35吨、满足45-28nm配线用4N5高纯钽材料中试线，实现高纯钽靶坯销售27.96吨，销售额6343.70万元，申请专利8件，制定行业标准2项，培养硕士研究生3名，靶材加工技术专家3名。
