[00108106]二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜
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技术详细介绍
本发明公开了一种二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜，本发明属于二氧化钛纳米薄膜加工领域。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法包括如下步骤：S1、提供惰性气体；S2、对惰性气体进行耦合，同时对惰性气体点火，产生惰性气体的等离子体火炬；S3、向惰性气体的等离子体火炬的内部通入反应气体，产生含有反应气体的等离子体火炬；S4、通过含有反应气体的等离子体火炬作用样品表面。本发明的二氧化钛纳米薄膜制备方法，其制备过程简单、易行，无二次污染。
