[00108141]一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置
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本发明公开了一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置，所述基于电化学刻蚀制备金属探针的方法包括以下步骤：(1)取金属丝置于分层液体中，分层液体包括上层的腐蚀液和下层的惰性液体，金属丝的第一端伸入到惰性液体中，第二端连接电源的一极；取电极连接电源的另一极，与分层液体、金属丝连接形成通路进行电化学刻蚀，收集粗金属探针；(2)取环状电极，环状电极上覆有腐蚀液形成的液膜，将粗金属探针的针尖竖直穿过液膜并与液态金属材料接触，所述液体金属材料包括液态金属或液态金属合金，进行电化学刻蚀。本发明的方法通过控制条件能够得到不同规格的金属探针，具有较好的适用性和应用前景。
