[00108211]一种热释电器件
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技术详细介绍
本实用新型实施例公开了一种热释电器件，该热释电器件包括：第一衬底，第一衬底包括热释电功能区和位于热释电功能区外围的非功能区；层叠设置的第一介电层和第二介电层，第一介电层与第一衬底接触设置，在第一衬底的垂直方向上热释电功能区的投影覆盖的第一介电层和第二介电层之间存在间隙以构成隔热结构，非功能区的投影覆盖的第一介电层和第二介电层直接接触；位于第二介电层上且层叠设置的第一电极、热释电材料层和第二电极，在第一衬底的垂直方向上热释电功能区的投影与热释电材料层交叠。本实用新型实施例中，在第一衬底上采用薄膜工艺形成各膜层，可自主控制热释电器件的厚度；热释电器件的面积较小且成本较低；可以降低震动和应力。
