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本发明涉及一种基于介电电泳的微流控芯片及其制备方法和应用,所述微流控芯片包括底部的平面形芯片(16)和顶部的微流道(13),所述平面形芯片具有依次叠加的四层结构;所述平面芯片的第一层结构(1)包括在玻璃基底上的电极,所述电极为叉指电极(2);所述平面芯片的第二层结构(3)包括微腔阵列(8);所述平面芯片的第三层结构(4)包括导电层(10);所述平面芯片的第四层结构(5)包括微腔阵列(12)和位于微腔阵列中的微挡板(11);所述第二层结构(3)和第四层结构(5)上包括微流通道(9)。本发明微流控芯片可以实现高通量的单细胞捕捉和配对。