[00108765]一种耐高温的多层压电陶瓷致动器及其制备方法和用途
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本发明公开了一种耐高温的多层压电陶瓷致动器及其制备方法和用途。所述压电陶瓷致动器中的压电陶瓷层包括压电陶瓷材料和助烧剂，所述压电陶瓷材料为通式为xBiScO3？（1？x）PbTiO3的钪酸铋？钛酸铅二元压电陶瓷材料。所述制备方法包括：1）将铋源、钪源、铅源和钛源混合，破碎，得到原料混合物，煅烧，得到煅烧粉料；2）将助烧剂与煅烧粉料混合，破碎，将得到的混合物成型得到压电陶瓷膜片；3）在压电陶瓷膜片表面制备内电极，将得到的带有内电极的压电陶瓷膜片层叠、烧制、制备外电极并进行极化后，得到所述压电陶瓷致动器。所述压电陶瓷致动器适用于25℃至300℃的工作温度范围，并且成本较低。
