[00109444]旋转镀膜铌靶材研究
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技术详细介绍
该项目针对旋转镀膜铌靶材制备过程中的技术问题，开展了关键生产工艺研究。通过独特的锻造工艺实现了≤80μm均匀晶粒，通过斜轧穿孔工艺实现了旋转镀膜铌靶材的成型，通过加工的整体工艺研究，尤其是自行设计单刀头6支撑的工装，使旋转镀膜铌靶材制品的精度完全满足图纸要求，满足了国际市场的需求。项目实施期间获得发明专利2项。
