[00109482]一种柔性纳米压印模板及其制备方法
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一种柔性纳米压印模板及其制备方法。所述柔性纳米压印模板由非晶合金层(1)和镍基底层(2)复合而成。所述柔性纳米压印模板结合了镍金属较高的强硬度、好的延展性能和非晶合金光滑耐腐蚀的优点，具有1nm以下的算术平均粗糙度，方便脱模，柔性好，具有良好的力学性能和耐光酸腐蚀性，特别适用于小尺寸高精度图形的纳米压印。
