[00109516]微型芯片的批量转移装置以及方法
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技术详细介绍
一种微型芯片的批量转移装置以及方法。该微型芯片的批量转移装置包括：装载模具(100)，装载模具(100)包括装载区(101)和位于装载区(101)边缘的非装载区(102)，装载区(101)上设置有阵列式排列的多个芯片吸附孔(1011)，多个芯片吸附孔(1011)设置为吸附多个微型芯片；外罩(200)，外罩(200)设置在非装载区(102)上远离吸附多个微型芯片的方向的一侧，外罩(200)和装载模具(100)之间形成腔室(201)，外罩(200)上设置有抽气孔(202)和充气孔(203)；抽气装置(300)，抽气装置(300)的输入口(301)与抽气孔(202)密封连接，抽气装置(300)设置为抽取腔室(201)的气体；充气装置(400)，充气装置(400)的输出口(401)与充气孔(203)密封连接，充气装置(400)设置为向腔室(201)充气。
