[00109756]静电式振动能量采集器及其制备方法
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技术详细介绍
一种静电式振动能量采集器，包括变间距式可变电容结构以及偏置电压生成装置；变间距式可变电容结构包括固定极板和运动极板；固定极板包括第一基体和第一电极层；第一基体上开设有凹槽；第一电极层形成于第一基体上开设有凹槽的一面；运动极板与固定极板相对设置；运动极板包括支撑构件、运动质量块和第二电极层；支撑构件用于支撑运动质量块并使得运动质量块位于凹槽上方；运动质量块上与凹槽相对的一面和凹槽内至少有一处设置有凸点；偏置电压生成装置用于生成偏置电压以在固定极板和运动极板之间形成固定电场。上述静电式振动能量采集器的结构简单且稳定性较好。本发明还涉及一种静电式振动能量采集器的制备方法。
