[00109833]一种铜化学机械抛光液及其制备方法
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技术详细介绍
本发明涉及一种铜化学机械抛光液及其制备方法，所述铜化学机械抛光液包括复合磨粒、分散剂A、氧化剂、缓蚀剂、pH调节剂、稳定剂及溶剂。本发明提供的化学机械抛光液分散性更好，稳定性高，沉降效果不明显。此外磷酸氢锆具有片层状结构，受到外力时会产生定向排列从而优化磨粒的取向，这样优化后的抛光磨粒在抛光过程中更加稳定，产生的划痕更少，整个抛光体系更加稳定，可实现更好的抛光效果。
