[00109949]一种新型辐射热测量计及制造方法
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技术详细介绍
本发明适用于非制冷红外检测技术领域，提供了一种包括天线结构的微测辐射热计及其制备方法。该制备方法包括：设置光敏层，溅射金层，进行图形化处理以获得天线结构以及基底结构，在基底结构上设置牺牲层，设置微桥结构，以及刻蚀并释放所述微桥结构。该微测辐射热计的天线结构显著增强了红外线强度，提高了检测灵敏度。
