[00109951]100kg级大尺寸蓝宝石晶体生长工艺及产品研发
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技术详细介绍
该项目针对大尺寸蓝宝石晶体生长，采用旋转微提拉法新工艺，针对不同工艺参数设计改善生长出重量达100kg的C向蓝宝石晶体，其光学透过率达85%以上、位错密度小于500个/cm2、半峰宽小于13弧秒。项目在采用独创双层水冷偏心籽晶杆及夹具、新型热场、稳定的电源及其自动控制系统、冷却水温自动控制技术、原料晶型控制技术等方面具有创新性，实现了长晶设备和长晶工艺的合理配合，研发成功了100kg级大尺寸蓝宝石晶体。该项目实现了100kg级蓝宝石晶体生长工艺技术的突破，生产出了合格的产品。
