[00109972]芯片成品率预测方法、装置、设备及存储介质
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技术详细介绍
本申请适用于本申请属于集成电路制造技术领域，提供了一种芯片成品率预测方法、装置、设备及存储介质。方法包括获取待测芯片的多个工艺步骤的参数值；将多个工艺步骤的参数值输入训练好的神经网络预测模型进行处理，获得待测芯片的成品率；神经网络预测模型的多个神经网络节点与多个工艺步骤一一对应，且各神经网络节点之间的连接关系与多个工艺步骤之间的关联关系相同。本申请实施例提供的芯片成品率预测方法，根据待测芯片的多个工艺步骤的参数值预测成品率，而不仅仅考虑单一工艺步骤对芯片成品率的影响，预测结果准确度高；且神经网络预测模型准确的描述了实际生产中待测芯片多个工艺步骤之间的关联关系，预测结果可信度高。
