[00110169]一种真空镀膜系统及其真空闸门装置
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本发明公开了一种真空镀膜系统及其真空闸门装置。真空镀膜系统包括真空闸门装置及真空闸门板，真空闸门装置包括支撑座、弹性密封机构、双摇杆机构及旋转驱动件；弹性密封机构包括固定件、金属密封板及弹性组件；双摇杆机构连接在弹性密封机构与旋转驱动件之间。利用双摇杆机构实现弹性密封机构的弧线运动，结构简单，占用空间小，且便于安装及维护；采用简单的旋转驱动装置即可实现真空闸门装置的致动，金属密封板与真空闸门板面面贴合实现密封，提高密封性能；金属密封板具备良好的耐腐蚀和耐高温性能；由于弹性组件的弹性作用与金属密封板的配合具备一定柔性变形补偿作用，从而降低了真空闸门板及密封板的机械精度，降低加工及装配难度。
