[00110360]SiC 高温压力传感器

　　一、项目简介
　　成果八：SiC 高温压力传感器
　　SiC 高温压力传感器由于碳化硅材料具有的带宽度宽的特点，在其耐高温、抗辐射性能上都有良好的特性。得益于碳化硅材料的微电子工艺的发展，以碳化硅为材料的高温压力传感器越来越多的出现在高温测量领域。在压力测量方面， 相比于压阻式和光学式压力传感器，电容式压力传感器更是具有灵敏度高、温度稳定性好、动态响应快等优点。项目组采用 SiC 材料为基础的电容式压力传感器， 在加工工艺上已突破了绝大部分关键工艺，实现了样机的批量化集成化制作。
　　二、技术成熟度
　　SiC 材料在微电子工艺的技术发展，使得其在 MEMS 传感器或执行器领域出现越来越多的典型耐高温器件，尤其在于压力测量方面，压阻式、电容式、LC 谐振式等器件都可以在基于现有的微加工设备上进行制作生产。本课题组开发的SiC 电容式高温压力传感器精度已经达到 0。5%FS，各项工艺技术成熟可靠。现有样机已通过某型火箭的测试，实现了样机的批量化生产。
　　三、应用范围
　　能够适应高温恶劣环境的气体和液体压力测量的高温压力传感器，有着广阔的应用。民用方面，可用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力，军用方面， 可用于核电、载人航天、深空探测等国家重大工程中。如先进的发动机内部进排气管压力监测需要在 200～300℃环境下进行，而涡喷发动机在不同的尾喷位置需要在 300～1000℃环境下进行压力监测。
　　四、投产条件和预期经济效益
　　SiC 高温压力传感器的投产需要超净实验室和先进齐全的硅微加工设备，包括 ICP 刻蚀、Lift-off 剥离工艺、金属沉积、电镀电感及阳极键合等各种工艺设备。
　　还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究， 同时需要具有 SEM、TEM、XRD 等大型设备，为相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。高温压力传感器应用广泛，从航空航天领域的空气动力学实验、飞行器表面摩阻测量、发动机试车内部压力监测，到民用领域的锅炉、管道、高 温反应容器等都有较大的需求，因此具有较为广泛的市场。
　　五、合作方式
　　技术转让，具体合作方式可商议。