[00111344]测试欧姆接触区方块电阻的方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种欧姆接触区方块电阻的测试方法。其实现方案是：制备两组电极宽度为W的欧姆接触方块电阻的测试图形,每种测试图形包括三个欧姆电极,两组测试图形的第一电极和第三电极的尺寸、第一电极与第二电极的距离及第二电极与第三电极的距离均相同,第二组测试图形的第二电极长度是第一组测试图形第二电极长度的α倍;分别测试两组测试图形中第一电极与第三电极之间的电阻值;对测试图形二所测的电阻值与测试图形一所测的电阻值作差,将结果乘以W/（（α-1）L12）项,得到每组测试图形中欧姆接触区的方块电阻。本发明测试图形简单易制作,测试方法简便,结果准确可靠,可用于高电子迁移率异质结晶体管制作。
