技术详细介绍
一种真空镀膜生产线,包括传送流水线和镀膜流水线,镀膜流水线与传送流水线连接;传送流水线包括一轨道、至少一个传送车和至少一个装片装置,传送车在所述轨道上运行,通过传送车传送装片装置;镀膜流水线包括一进口腔室、一进口过渡腔室、一进口缓冲腔室、一镀膜腔室、一出口缓冲腔室、一出口过渡腔室和一出口腔室。与现有技术相比,传送流水线和镀膜流水线首尾相连形成一环形流水线,节约占地面积,整个镀膜生产线中基片传送采用智能控制,节约人力物力,提供生产效率,镀膜流水线中各腔室依据产品需求更换或增加,整条镀膜生产线适应多种镀膜工艺要求,使用寿命延长,节约资源,因此其应用前景十分广阔。
