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随着粒子加速器装置尺寸越来越大,研究对象尺度越来越小,对粒子束稳定性和发射度等性能要求越来越高,导致目前广泛使用的静力水准系统难以满足未来新建或升级改造的粒子加速器对垂直方向位移检测精度的需求。为此,本项目组在前期电容位移传感器制作及测试与标定基础上,提出一种“厚-薄”混合工艺和基于“误差分离”的在线校准方法,开展自适应高精度电容式静力水准系统的关键技术研究。基于误差源分析和模型构建,完善电容位移传感器的制作工艺和误差补偿方法;采用加速度计和电容位移传感器整体融合方案,开展电容式静力水准系统的集成;依据“欧拉角-四元数”转换算法,研究静力水准系统的在线校准技术,实现其“被动标定型”到“主动适应型”转变,提高垂直方向位移的检测精度。该申请旨在为研制高精度电容式静力水准系统提供理论和方法指导,同时也为新一代合肥同步辐射光源预研与验证装置以及其他大型精密工程的准直和形变测量提供可靠的技术手段。