[00113762]一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片
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成果一种以硒化锌晶体为基底的中长波红外宽光谱分色片,该分色片入射面即分色面的主膜系采用长波通滤光片式的膜系结构,以锗和硫化锌为高低折射率材料。使用双反射堆实现宽带反射,在主膜系两端加匹配层,匹配层中使用氟化镱,优化匹配层后提升透射波段透过率并压缩通带波纹;背面设计了宽光谱减反射膜,以获得透射波段的高透过率。分色片在制备过程中采用了合适的沉积温度、沉积速率以及离子辅助沉积等特定工艺。光束45°角倾斜入射下,该分色片能实现对4.6～7.7μm宽波段内高反射,8.1～15.5μm宽波段内高透射。本发明的分色片性能稳定、可靠性好,适合于大气辐射超光谱探测技术中红外成像系统中的光谱分光使用。
