[00113887]DSJ-4型多功能双离子束加工机
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技术详细介绍
该机是一种用于材料表面加工的多用途精密设备。它采用了低能大面积准直束和聚焦束离子源、两个直接冷水多自由度工作台、刻蚀和镀膜终点监控器、自动控制排气过程和工艺过程，以及采集处理工艺参数的计算机系统。它具有超精细离子束刻蚀、溅射镀膜和表面改性等多种功能。它的研制成功，将我国低能离子束加工技术提高到了一个新水平。
