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本发明公开了一种紫外光照射改性ITO玻璃基板的方法,其特征在于,包括以下步骤: (1)清洗ITO玻璃基板,并ITO玻璃基板正面朝上放于紫外光灯中,照射1~30min; (2)按照体积比配制OTS-甲苯溶液,将照射好的ITO玻璃基板放入配制溶液中浸泡1s~40min,取出丙酮清洗后,烘干; (3)ITO玻璃基板正面朝上再次置于紫外光灯内进行照射1~50min,得到表面完全亲水的功能化ITO玻璃基板。 该方法将两种技术相结合,使ITO玻璃基板能达到原子级别的表面清洁程度,使表面的功能化均匀、完全;而且该方法工艺流程简单,操作方便。