[00114337]点衍射干涉波像差测量仪及检测方法
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技术详细介绍
一种点衍射干涉波像差测量仪,由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构简单、相移元件不产生系统误差、高干涉条纹可见和可标定系统误差的优点。本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种点衍射干涉波像差测量仪及检测方法,以实现对光学系统波像差的高精度检测。该干涉仪具有结构简单、相移元件不产生系统误差、高干涉条纹可见度和可标定系统误差的优点。
